FinFET SRAM的器件结构与制造要点介绍
本文介绍了FinFET SRAM的器件结构与制造要点。 本篇聚焦于FinFET SRAM的器件结构与制造要点。SRAM（静态随机存取存储器，static random access memory）在逻辑芯片中作为高速缓存使用，通常是芯片上密度最高、尺寸最小的电路单元，因此常被用作新工艺节点开发的测试载体。 SRAM单元电路与版图结构 SRAM存储单元由两个交叉耦合的反相器（inverter）和两个
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本文介绍了FinFET SRAM的器件结构与制造要点。 本篇聚焦于FinFET SRAM的器件结构与制造要点。SRAM（静态随机存取存储器，static random access memory）在逻辑芯片中作为高速缓存使用，通常是芯片上密度最高、尺寸最小的电路单元，因此常被用作新工艺节点开发的测试载体。 SRAM单元电路与版图结构 SRAM存储单元由两个交叉耦合的反相器（inverter）和两个