湿法刻蚀中的介质层与金属层加工:从SiO₂到金属互连的化学控制
本文主要介绍了湿法刻蚀中的介质层与金属层加工。 湿法刻蚀 在半导体制造工艺中,湿法刻蚀不仅广泛应用于硅材料本身的加工,更重要的价值体现在介质层与金属薄膜的选择性图形化过程中。无论是栅介质、隔离层、钝化层,还是后续互连结构中的金属布线,其表面加工质量都直接决定器件的电学性能与长期可靠性。因此,针对不同材料体系建立具有高选择性、高均匀性以及低损伤特征的湿法刻蚀体系,始终是微电子工艺开发中的重要内容。
纳米网半导体频道 — 提供半导体领域最新资讯、技术文章和行业动态。
本文主要介绍了湿法刻蚀中的介质层与金属层加工。 湿法刻蚀 在半导体制造工艺中,湿法刻蚀不仅广泛应用于硅材料本身的加工,更重要的价值体现在介质层与金属薄膜的选择性图形化过程中。无论是栅介质、隔离层、钝化层,还是后续互连结构中的金属布线,其表面加工质量都直接决定器件的电学性能与长期可靠性。因此,针对不同材料体系建立具有高选择性、高均匀性以及低损伤特征的湿法刻蚀体系,始终是微电子工艺开发中的重要内容。
最近的摩尔线程发布会上,摩尔线程创始人、董事长兼首席执行官张建中是这么形容AI时代遭遇的算力挑战的:“很少有人能准确预测下个月token的需求量是多少。”回看2024-2026年初这短短2年时间,中国的日均token消耗量就上涨了1800倍,2025年中日均token消耗量30万亿,二道了2026年初仅OpenClaw这一个应用的日均token消耗就达到了140万亿... 在智能体AI的时代背景下
本文主要介绍了什么是Teflon(特氟龙)。 Teflon是什么? Teflon是聚四氟乙烯(PTFE,Polytetrafluoroethylene)的商品名,由美国杜邦公司(DuPont)注册,现在已经成为这类材料的通用叫法。 化学结构非常简单: 碳链骨架,所有氢原子被氟原子完全取代,这是它一切特性的根源。 Teflon中文俗名有哪些? | 叫法 | 使用场景 | | 特氟龙 | 最通用,在
今日,在电气电子工程师学会(IEEE)举办的国际电路系统研讨会ISCAS 2026上,华为何庭波发表题为“半导体新路径探索与实践”的主旨演讲,发表了指导半导体产业发展的新原则——韬(τ)定律。韬(τ)定律提出以“时间 (τ) 缩微”替代“几何缩微”作为半导体与电子系统演进的新指导原则——通过逻辑折叠等创新技术,持续压缩信号传播时延,不断提升晶体管密度,从而实现半导体与电子系统的持续演进。 近年来,
2026年3月,在阿里巴巴财报分析师电话会上,CEO吴泳铭公布了一组数据:旗下芯片公司平头哥已累计交付47万片自研芯片,其中六成以上销售给外部客户,年化营收达到百亿级别。他还提到,不排除IPO的可能。 关于平头哥上市,阿里尚未明确时间表,但资本市场的预期已经被点燃。年初,摩根大通就在研报中,给出250亿到620亿美元的估值区间。 八年前,完全是另一番景象。2018年夏天,时任阿里集团CTO、达摩院
Ian Buck 亲自将首批 NVIDIA Vera CPU 系统交付至 Anthropic、OpenAI、Oracle Cloud Infrastructure 以及 SpaceXAI,标志着智能体专用 CPU 从发布迈向投产。 代理式 AI 从一开始就需要一种全新的 CPU。NVIDIA 创始人兼首席执行官黄仁勋在今年 3 月于圣何塞举行的 GTC 上给出了答案 —— 独立的 Vera CP
EVAL-FP50R12W2T7M5 评估板搭载 EasyPIM™ 2B,适用于采用 TRENCHSTOP™ IGBT7 的通用驱动器。此评估板有助于通过双脉冲测试和系统测试来研究模块的特性。除了通用驱动器控制外,该评估板还提供高压采样、相电流采样、温度采样、保护措施、精确的去饱和检测以及米勒钳位功能。 产品型号: ■EVAL-FP50R12W2T7M5 产品框图 产品特性 采用 TRENCH
本文介绍了键合及其应用。 在半导体行业追求更高性能、更低功耗的道路上,单纯缩小晶体管尺寸已经越来越难。于是,工程师们换了一个思路:既然横向不能无限缩小,那就纵向堆叠——把不同的芯片像盖楼一样一层层叠起来。这项让芯片“长高”的核心技术,就是键合技术。 键合是什么?芯片界的“强力胶”键合,简单来说就是把两片或多片晶圆(或芯片)永久性地粘合在一起,同时实现它们之间的电气互连。这可不是普通胶水能办到的。
本文介绍了等离子体刻蚀的刻蚀原理。 在现代半导体制造中,干法刻蚀之所以能够实现高深宽比结构加工与纳米尺度图形转移,其核心并不只是“利用等离子体进行刻蚀”这么简单,更关键的是对等离子体内部不同刻蚀机制的精确调控。等离子体环境本身极其复杂,其中既存在高能离子轰击,也包含大量具有高化学活性的自由基与中性粒子,因此刻蚀过程往往并非单一作用主导,而是物理效应与化学反应共同耦合的结果。不同工艺体系中,两者所占
今天,华为又刷屏了。 5月25日,在上海举行的2026国际电路与系统研讨会(ISCAS 2026)上,华为公司董事、半导体业务部总裁何庭波在题为《半导体新路径探索与实践》的主旨演讲中,正式发表“韬(τ)定律”,这是中国在全球半导体领域首次提出指导产业发展的新原则。 “韬定律”提出的以“时间缩微”替代“几何缩微”,以系统性降低时间常数(韬 τ)为目标,通过逻辑折叠等创新技术,持续压缩信号传播时延,不
在传统摩尔定律逐渐失效的背景下,半导体行业正在寻找新的性能增长路径。在2026年IEEE ISCAS大会上,华为提出“τ(时间)微缩”方法,将性能优化从“几何尺寸”转向“时间压缩”,并以工程实践加以验证(通过近6年设计并量产的381款芯片)。 在ISCAS 2026的keynote演讲中,华为半导体总裁何庭波女士开口的开场白是:“过去6年我经常会被问到:在手机、AI这些高度竞争的行业里,你们是如何
东芝电子元件及存储装置株式会社(“东芝”)今日宣布,开始提供1200V沟槽栅SiC MOSFET——“TW007D120E”的测试样品出货,该产品主要面向下一代AI数据中心电源系统,同时也适用于可再生能源相关设备。 随着生成式AI的快速发展,功耗不断上升已成为数据中心面临的紧迫课题。尤其是高功率AI服务器的广泛应用以及800V高压直流(HVDC)架构部署的增加,推动了市场对更高功率转换效率和更高
随着48V整车电气架构因功率密度和能效等综合优势,在国内越来越多主机厂和后续车型中得到应用,EMB作为高功率执行器,在整车升级到48V后通常优先切换到48V平台。此外,EMB是关乎安全和体验的底盘关键执行部件,对芯片故障诊断和可靠性提出了极高要求。XWire48B作为XWire family的第二款产品,专为满足当前48V EMB的最新需求而设计。该产品继承了XWire12B已验证的架构和高集成
[ ](https://mp.weixin.qq.com/s?__biz=MzkwNjQxMjk2MQ==&mid=2247483746&idx=1&sn=9cc150134392b4c25fd9a15b4b7f1927&scene=21#wechat_redirect) 5月20日消息,半导体代工巨头台积电正全力推进新一代面板级封装技术。 基于德国设备商SCHM
AMD 的EPYC Venice CPU 已进入量产阶段,成为首款采用台积电 2nm 工艺技术实现量产里程碑的高性能计算产品。 人工智能的蓬勃发展正以前所未有的速度推动CPU市场增长。高性能CPU的需求量巨大,而作为高性能计算领域的领导者,AMD刚刚实现了基于Zen 6核心架构的下一代EPYC Venice CPU的量产。此次量产得益于台积电先进的2nm制程工艺。 展望未来,AMD计划在台积电亚利
5月20日晚,砺算科技旗下首款消费级显卡LX 7G100创始版在京东开启预约。首批限量1000份,售价2969元(含官方政府补贴)。24小时内预约人数突破2.2万,中签率不足5%,市场热度可见一斑。 此次限量版包含砺算创始人宣以方的亲笔签名及专属数字编号。据官方消息,普通版LX 7G100将于618之后上市,售价有望进一步下探,为消费者释放更多优惠空间。 LX 7G100基于砺算自研的TrueGP
新闻提要 量子计算不再是遥远的可能——它正迅速走向现实。随着各国政府和监管机构加快推进转型进程,技术领导者必须立即采取行动,确保产品在未来数十年依然安全可靠。恩智浦正在积极推动这一转型加速落地。 后量子加密技术 (PQC) 是恩智浦安全架构中嵌入的基础元素——提供可直接投产的解决方案,客户无需等待,立刻就能部署具备抗量子能力的产品。 将十年前瞻积累转化为产品能力 近十年来,恩智浦始终站在后量子加
时隔两年,大连科利德又回来了。 2026年5月,这家半导体材料公司低调在大连证监局办了辅导备案,保荐人从海通证券换成了华泰联合证券,会计师事务所也换了。对熟悉A股审核节奏的人来说,这个信号很明确:科利德要二次闯关IPO了。 2024年2月,科利德第一次冲刺科创板,结果在保荐人主动撤回申请后而收场。隔了两年,换了全套中介班子从新开始。 | 这家公司到底是干什么的? 科利德做的是电子特种气体,圈内
英飞凌推出全新XHP™ 2 CoolSiC™高功率模块,显著提升高压能源系统的效率与功率密度 全球功率系统和物联网领域的半导体领导者英飞凌科技股份公司推出采用2300V CoolSiC™ MOSFET的新型XHP™2功率模块产品,进一步扩展了该产品组合。该模块专为高压电力系统设计,最高支持1500V直流母线电压,契合行业向更高系统电压发展的趋势。该模块还提供多种规格,导通电阻(RDS(on))在1
文章**概述** 摘要: 本期 DigiKey向大家推介一款产品——Infineon用于车身电子的 TRAVEO™ T2G 32 位Arm® Cortex® MCU TRAVEO T2G 是 Infineon 设计的一款高性能车身控制模块 (BCM) 器件,旨在满足日益增长的先进车辆电子设备需求。这款功能强大的单片机专门用于支持车身控制应用的复杂要求,例如车门、座椅和照明控制以及高级驾驶辅助系统。