一只MOS晶体管是如何制造出来的？
本文将介绍制造MOS晶体管的工艺流程。 理解MOS工艺，关键并不在于记住多少层氧化膜、多少块掩膜版，而在于弄清楚每一道工序如何影响晶体管的导通、关断和可靠性。 MOSFET如何控制电流 以n沟增强型MOSFET为例，器件通常形成在p型硅衬底上，两侧为重掺杂n型源区和漏区，中间由栅介质与栅极覆盖。 当栅源电压为零时，n⁺源区与漏区之间仍被p型衬底隔开，尚未建立连续的n型导电路径，因此器件基本处于关
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本文将介绍制造MOS晶体管的工艺流程。 理解MOS工艺，关键并不在于记住多少层氧化膜、多少块掩膜版，而在于弄清楚每一道工序如何影响晶体管的导通、关断和可靠性。 MOSFET如何控制电流 以n沟增强型MOSFET为例，器件通常形成在p型硅衬底上，两侧为重掺杂n型源区和漏区，中间由栅介质与栅极覆盖。 当栅源电压为零时，n⁺源区与漏区之间仍被p型衬底隔开，尚未建立连续的n型导电路径，因此器件基本处于关