MEMS制程全流程梳理：从裸晶圆到微结构芯片完整工序
本文介绍了MEMS制程全流程。 提到芯片，大多数人首先想到的是CPU、存储这类集成电路芯片。但在我们身边，还有一类看不见却无处不在的芯片——MEMS微机电系统芯片。 手机里的陀螺仪、加速度计、麦克风，智能汽车的压力传感器、惯性导航元件，投影仪的微镜阵列，甚至医疗设备的微型传感探头，核心都是MEMS芯片。 和传统IC芯片只做电路加工不同，MEMS芯片的核心是在晶圆上制造微米级、三维立体的机械结构，既
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