什么是SC-1清洗液?
本文介绍了SC-1清洗液。 SC-1 (Standard Clean 1),全称为标准清洗液一号,通常也叫做 APM (Ammonia Peroxide Mixture)。它是半导体制造中最著名、应用最广泛的清洗配方——RCA 清洗工艺的核心组成部分(由美国无线电公司 RCA 的 Werner Kern 于 1965 年发明)。 SC-1 的配方组成 SC-1 的经典化学配比是: 氨水 (NH3
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本文介绍了SC-1清洗液。 SC-1 (Standard Clean 1),全称为标准清洗液一号,通常也叫做 APM (Ammonia Peroxide Mixture)。它是半导体制造中最著名、应用最广泛的清洗配方——RCA 清洗工艺的核心组成部分(由美国无线电公司 RCA 的 Werner Kern 于 1965 年发明)。 SC-1 的配方组成 SC-1 的经典化学配比是: 氨水 (NH3