影响RTP冷却速率的因素
本文主要介绍了影响RTP冷却速率的因素。 一、热源关断因素 1. 灯的关断速度 冷却的起点是热源消失，灯关断越快，冷却启动越早。 2. 灯的余热辐射 灯关断后灯丝本身还有余温，会残留少量辐射，灯丝热容越小，余热影响越小。 二、辐射散热相关因素 3. 腔壁温度 晶圆靠向腔壁辐射散热，温差越大散热越快： 腔壁温度越低，辐射散热越强，水冷腔壁保持低温，持续吸热，腔壁温度高则散热慢 4. 晶圆发射率（
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本文主要介绍了影响RTP冷却速率的因素。 一、热源关断因素 1. 灯的关断速度 冷却的起点是热源消失，灯关断越快，冷却启动越早。 2. 灯的余热辐射 灯关断后灯丝本身还有余温，会残留少量辐射，灯丝热容越小，余热影响越小。 二、辐射散热相关因素 3. 腔壁温度 晶圆靠向腔壁辐射散热，温差越大散热越快： 腔壁温度越低，辐射散热越强，水冷腔壁保持低温，持续吸热，腔壁温度高则散热慢 4. 晶圆发射率（