二次电子的空间分辨率：从概念到原子尺度
主要讲述二次电子的空间分辨率。 扫描电子显微镜（SEM）作为材料表征领域的核心工具，其空间分辨率的极限一直是显微学研究的焦点。二次电子（SE）成像凭借对样品表面形貌的高灵敏度，成为SEM最常用的观测模式，但其分辨率的物理本质涉及电子光学、固体物理与散射理论的多重交叉。 本文系统梳理二次电子成像的分辨率基本概念、产生机制与成像模式，深入探讨原子分辨率实现的物理基础。 电子光学的分辨率基础 由于二次电
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主要讲述二次电子的空间分辨率。 扫描电子显微镜（SEM）作为材料表征领域的核心工具，其空间分辨率的极限一直是显微学研究的焦点。二次电子（SE）成像凭借对样品表面形貌的高灵敏度，成为SEM最常用的观测模式，但其分辨率的物理本质涉及电子光学、固体物理与散射理论的多重交叉。 本文系统梳理二次电子成像的分辨率基本概念、产生机制与成像模式，深入探讨原子分辨率实现的物理基础。 电子光学的分辨率基础 由于二次电