湿电子化学品纯度等级 G1 到 G5
本文将介绍 G1 到 G5的湿电子化学品纯度等级。 湿电子化学品的纯度等级,是国际半导体设备与材料协会 SEMI 制定的标准(SEMI C1 等标准),用 Grade(等级)来划分,从 G1 到 G5,等级数字越大、纯度越高、对应的芯片工艺越先进。这个分级的核心,是控制化学品里的杂质含量——主要是金属离子杂质和颗粒(微粒)这两大类。 分级原因 湿电子化学品是半导体制造里大量使用的液体化学品,包括
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