DRAM存取晶体管的演进—平面、凹槽栅与埋入式字线
本文主要讲述DRAM存取晶体管的演进。 与电容并行发展的另一条技术主线是存取晶体管的结构变化。从平面晶体管到凹槽栅晶体管（recessed gate transistor，RG transistor），再到埋入式字线晶体管（buried word line transistor，BWL transistor），存取晶体管的每一次变革都直接影响DRAM的功耗、速度和制造复杂度。 平面晶体管的基本结构
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本文主要讲述DRAM存取晶体管的演进。 与电容并行发展的另一条技术主线是存取晶体管的结构变化。从平面晶体管到凹槽栅晶体管（recessed gate transistor，RG transistor），再到埋入式字线晶体管（buried word line transistor，BWL transistor），存取晶体管的每一次变革都直接影响DRAM的功耗、速度和制造复杂度。 平面晶体管的基本结构