刻蚀选择比不稳怎么办？各向异性、均匀性、残留和过刻逐项确认
本文将介绍刻蚀选择比决定因素和刻蚀不稳定性排除思路。 选择比不稳时，第一反应不要只盯刻蚀速率，更不要直接把功率、时间、气体流量一起改。 很多刻蚀异常看起来都是“没刻干净”或“刻过了”，但真正要分开判断的是三件事：选择比有没有变化；各向异性有没有变差；片内、片间或批次间均匀性有没有漂移。 这三件事对应的排查路径不同。如果混在一起看，很容易把残留、过刻、侧蚀和检测误差都归因到“参数没调好”。 先把
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# 过刻
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刻蚀后残留到底怎么判断？聚合物残留、金属污染和过刻不是一回事
刻蚀后残留到底怎么判断？聚合物残留、金属污染和过刻不是一回事 同样叫“刻蚀残留”，背后的原因可能完全不同。 有些残留来自聚合物沉积，有些来自金属或颗粒污染，有些其实不是残留，而是刻蚀不足、微遮蔽、过刻损伤或下层材料暴露后的形貌变化。如果一看到残留就直接加强清洗，可能短期看起来干净了，但真正的工艺问题并没有解决，甚至还会引入新的表面损伤。 所以，刻蚀后残留的判断，第一步不是问“怎么洗掉”，而是先判