刻蚀选择比不稳怎么办？各向异性、均匀性、残留和过刻逐项确认
本文将介绍刻蚀选择比决定因素和刻蚀不稳定性排除思路。 选择比不稳时，第一反应不要只盯刻蚀速率，更不要直接把功率、时间、气体流量一起改。 很多刻蚀异常看起来都是“没刻干净”或“刻过了”，但真正要分开判断的是三件事：选择比有没有变化；各向异性有没有变差；片内、片间或批次间均匀性有没有漂移。 这三件事对应的排查路径不同。如果混在一起看，很容易把残留、过刻、侧蚀和检测误差都归因到“参数没调好”。 先把
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