赛默飞世尔科技今天宣布，已完成多台赛默飞科学Optis聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）的安装。随着半导体制造商开发日益复杂的芯片，以驱动从智能设备到医疗技术在内的各类应用，他们需要更快、更准确且更一致的数据来推动创新。该系统结合自动化样品制备、机器人技术和人工智能工具，以简化实验室工作流程，帮助芯片制造商更早获得高质量数据，并做出更有依据的开发决策。
Optis FIB-SEM是用于制备透射电子显微镜（TEM）成像样品的自动化流程的一部分。它直接从晶圆制备样品，帮助半导体制造商更早、更有把握地获得有用数据。客户在现场对该系统进行了数月测试，其反馈推动了系统改进。Optis目前已在领先芯片制造商中获得显著行业采用。
随着芯片尺寸不断缩小、设计日益复杂，制造商需要在研发阶段更早获得来自晶圆的精确测量结果。Optis FIB-SEM可自动处理晶圆和样品网格、制备步骤以及它们之间的信息流。这有助于实验室和制造设施以更少的人工步骤、更清晰的每个样品记录以及更可预测的运行来制备TEM样品。
赛默飞世尔科技副总裁兼半导体业务总经理Mohan Iyer表示：“半导体制造商正在生产极其复杂的器件，以满足现代技术的需求，这意味着他们需要更快的工艺学习、更高的吞吐量以及更一致、高质量的数据。Optis FIB-SEM面向下一代器件微缩时代而打造，延续了我们为客户带来计量与失效分析创新的承诺。在Vulcan自动化实验室内，它将自动化延伸到整个生产工作流程，从晶圆到结果。”
现有实验室方法需要技术人员将晶圆破碎成碎片、手动跟踪样品，并手动完成最终制备。这些步骤耗时，可能增加损坏或浪费材料的风险，使样品更难追溯，并可能因操作人员不同而导致不同结果。Optis FIB-SEM将样品制备保留在晶圆工作流程中，并自动完成最终减薄，这是制备TEM薄样品最具挑战性的步骤之一。这有助于从事先进逻辑芯片和存储芯片的团队以更少的人工工作制备薄样品，并使感兴趣区域准确居中。
赛默飞世尔科技在开发基于晶圆的聚焦离子束扫描电子显微镜系统方面拥有丰富经验，并在全球范围内提供支持，帮助客户优化这些系统。这些经验以及其全球安装和服务支持，使客户在采用基于晶圆的自动化流程时更有信心。Optis FIB-SEM旨在使基于晶圆的TEM样品制备在经验水平不同的操作人员之间更加一致。
来源: 海外媒体
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