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# 互连层

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基于互连层的2.3DIC集成

基于互连层的2.3DIC集成

本文主要讲述基于互连层的2.3DIC集成。 基本结构 图1为高密度有机混合基板上芯粒异质集成的俯视图和截面图。它由4个主要部分组成:①含微凸点的芯片;②精细金属L/S RDL基板或有机转接板(约37um厚);③互连层(约60um厚);④HDI印制电路板(PCB)(约1mm厚),如图2所示。 测试芯片 使用的测试芯片如图3所示。可以看到,大芯片(芯片1)的尺寸为10mm×10mm×150um,其