扫描电镜菊池衍射几何(EBSD,RKD,TKD)的比较
直接电子探测器的微型化催生了EBSD、RKD、同轴TKD与离轴TKD四种菊池衍射几何。它们分别适用于块体、原位、纳米等不同场景。研究通过衍射球重建统一比较,发现TKD在高阶特征分辨率上显著优于反射模式,而能量过滤与畸变控制是提升精度的关键。 近年来,紧凑型直接电子探测器的出现,为菊池衍射技术带来了革命性的发展机遇。探测器体积的大幅缩小,让研究人员可以在扫描电镜的腔室内灵活布置探测器位置,由此发展出
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直接电子探测器的微型化催生了EBSD、RKD、同轴TKD与离轴TKD四种菊池衍射几何。它们分别适用于块体、原位、纳米等不同场景。研究通过衍射球重建统一比较,发现TKD在高阶特征分辨率上显著优于反射模式,而能量过滤与畸变控制是提升精度的关键。 近年来,紧凑型直接电子探测器的出现,为菊池衍射技术带来了革命性的发展机遇。探测器体积的大幅缩小,让研究人员可以在扫描电镜的腔室内灵活布置探测器位置,由此发展出