薄膜应力与晶圆曲率法
本文主要讲述薄膜应力与晶圆曲率法。 薄膜是现代微电子、光子学与微机电系统（MEMS）器件最基础的构成单元，小到芯片里的导电层、绝缘层，大到光学镜头的镀膜、MEMS传感器的微结构，都离不开薄膜材料，而这些薄膜的性能稳定性、器件使用寿命，核心都由内部的残余应力所决定。 这种应力并非微电子时代才出现的新问题，早在传统电沉积加工、光学涂层制备的年代，科研人员就已经发现薄膜应力会直接影响产品质量，经过数十
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本文主要讲述薄膜应力与晶圆曲率法。 薄膜是现代微电子、光子学与微机电系统（MEMS）器件最基础的构成单元，小到芯片里的导电层、绝缘层，大到光学镜头的镀膜、MEMS传感器的微结构，都离不开薄膜材料，而这些薄膜的性能稳定性、器件使用寿命，核心都由内部的残余应力所决定。 这种应力并非微电子时代才出现的新问题，早在传统电沉积加工、光学涂层制备的年代，科研人员就已经发现薄膜应力会直接影响产品质量，经过数十