怎么解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题
本文介绍了怎么解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题。 一、解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题有什么更优的方案 1. 金属氧化物光刻胶（尤其锡基），这是当前最重要的突破方向 传统的化学放大胶在 EUV 下 RLS 矛盾很尖锐，而金属氧化物光刻胶（Metal Oxide Resist，MOR，代表是含锡的胶）能在三个维度上同时改善，这是它被寄予厚望的原因。 2. 提高光子吸收效率 不管什么胶，提高对 EUV
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本文介绍了怎么解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题。 一、解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题有什么更优的方案 1. 金属氧化物光刻胶（尤其锡基），这是当前最重要的突破方向 传统的化学放大胶在 EUV 下 RLS 矛盾很尖锐，而金属氧化物光刻胶（Metal Oxide Resist，MOR，代表是含锡的胶）能在三个维度上同时改善，这是它被寄予厚望的原因。 2. 提高光子吸收效率 不管什么胶，提高对 EUV