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# 键合可靠性

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细节距键合技术及相关问题

细节距键合技术及相关问题

本文介绍了细节距键合的定义和可靠性与测试。 细节距球形键合 2008年生产的大多数器件的针脚数仍然很少(<100),用于这种球形键合的键合焊盘节距仍在80~100μm范围内。但是,目前制造的高端器件的主流节距为40μm,后面的图5给出了一个类似细节距球形键合的示例,而且35μm节距球形键合的器件在2008年就接近批量生产了。下图1给出了一个使用25μm线径Au丝在70μm节距上进行球形键合的