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# CFET,自热效应,寄生效应,多层堆叠,TCAD仿真,纳米片,CMOS反相器

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慕尼黑工业大学与印度理工坎普尔分校:自热和寄生效应挑战多层CFET缩放

慕尼黑工业大学与印度理工坎普尔分校:自热和寄生效应挑战多层CFET缩放

德国慕尼黑工业大学与印度理工学院坎普尔分校研究人员发表论文,研究自热效应及中段、后段互连寄生对多层CFET设计的影响,并比较四层与传统两层CFET。研究采用经实验校准的TCAD模型,仿真热分布与温度剖面,提取互连寄生RC网络。