钨塞W-plug是干什么用的?
钨塞是什么? 钨塞(Tungsten Plug,业内常简称为 W-plug)是半导体集成电路制造中,用于实现晶体管器件层与上方金属互连层之间垂直电气连接的圆柱形微观金属导体。 在芯片的物理架构中,它主要位于中道工序(MOL, Middle-of-Line)的接触孔(Contact)层。通俗来说,晶体管的源极、漏极和栅极深埋在底层的硅基底上,而负责传输信号的铜布线(M1, M2...)悬浮在上方介质
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钨塞是什么? 钨塞(Tungsten Plug,业内常简称为 W-plug)是半导体集成电路制造中,用于实现晶体管器件层与上方金属互连层之间垂直电气连接的圆柱形微观金属导体。 在芯片的物理架构中,它主要位于中道工序(MOL, Middle-of-Line)的接触孔(Contact)层。通俗来说,晶体管的源极、漏极和栅极深埋在底层的硅基底上,而负责传输信号的铜布线(M1, M2...)悬浮在上方介质