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芯片设计与制造中提到的Corner以及SS/TT/FF是什么?

芯片设计与制造中提到的Corner以及SS/TT/FF是什么?

本文介绍了芯片设计与制造中提到的Corner以及SS/TT/FF。 在芯片制造领域,Corner(工艺角)这一概念用于定量刻画因制造工艺导致的个体间性能差异。芯片制造时,如掺杂 (doping) 浓度、扩散 (diffusion) 深度、刻蚀 (etch) 程度,退火 (anneal) 这些工艺偏差,会使不同批次芯片或同一批次的不同晶圆,甚至同一晶圆上的不同die,都会在性能上产生variati