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鲁汶大学、群山大学、布鲁塞尔自由大学及比利时微电子研究中心（imec）等机构研究人员发表论文，报道一种全干法沉积的卤化非晶沸石咪唑骨架（a-ZIF）抗蚀剂，在电子束与极紫外光刻中表现出明显的辐照源依赖色调转换，可用于下一代半导体先进图形化工
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