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# 光刻

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从平面图纸到立体器件:版图设计

从平面图纸到立体器件:版图设计

本文主要讲述版图设计。 在芯片设计中,版图是连接电路原理图与物理制造的桥梁。它像一张精密的建筑图纸,用二维图形定义了每一层材料的形状和位置。但制造出来的芯片是一个三维立体结构,版图上的每一块图形,最终都会对应到器件剖面中的特定区域。理解这种对应关系,以及背后约束这些图形的设计规则,是芯片设计的基础。 图片展示了一个MOS晶体管的版图顶视图和对应的器件剖面图。在版图上,我们看到的是各层图形的叠加—