扫描电镜中二次电子掺杂衬度的物理机制
本文介绍了扫描电镜中的二次电子掺杂衬度的物理机制。 二次电子（SE）发射强度是扫描电子显微镜（SEM）进行样品形貌表征时最常使用的信号，借助现代场发射电子源与高灵敏度探测器，高端SEM已可稳定实现亚纳米级的空间分辨率。 然而，SE信号在形貌表征中的压倒性应用，长期掩盖了其对材料本征物理属性的敏感响应能力，包括功函数、电子阻止本领以及电子平均自由程等。尤其值得关注的是，相邻区域之间的功函数差异可以被
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本文介绍了扫描电镜中的二次电子掺杂衬度的物理机制。 二次电子（SE）发射强度是扫描电子显微镜（SEM）进行样品形貌表征时最常使用的信号，借助现代场发射电子源与高灵敏度探测器，高端SEM已可稳定实现亚纳米级的空间分辨率。 然而，SE信号在形貌表征中的压倒性应用，长期掩盖了其对材料本征物理属性的敏感响应能力，包括功函数、电子阻止本领以及电子平均自由程等。尤其值得关注的是，相邻区域之间的功函数差异可以被