标签专题 · 共 1 篇文章

# 衬底

关于「衬底」的技术文章、设计资料与工程师讨论,持续更新。

1
篇文章
4
人关注
86
次浏览
芯片中的EPI Layer是什么?有什么作用?

芯片中的EPI Layer是什么?有什么作用?

外延层的基本概念 外延(Epitaxy)是指在经过切、磨、抛等加工的单晶衬底上生长一层新单晶的过程。这层新生单晶层按衬底晶相延伸生长,故称为外延层(Epitaxial Layer),厚度通常为几微米。外延层与衬底可以是同一材料,也可以是不同材料,分别称为同质外延和异质外延。长了外延层的衬底称为外延片。外延生长的方法包括分子束外延(MBE)、金属有机CVD(MOCVD)和气相外延(VPE)等。