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# EUV光刻

关于「EUV光刻」的技术文章、设计资料与工程师讨论,持续更新。

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从28nm到A14:芯片工艺的“追更”之路,每一代都在卷什么?

从28nm到A14:芯片工艺的“追更”之路,每一代都在卷什么?

本文将介绍从28nm到A14(约1.4nm)的演进路径。 在半导体行业,每一代工艺节点的跨越都像是一场精密到原子级别的“极限挑战”。最近的一份技术总结,清晰地勾勒出了从28nm到A14(约1.4nm)的演进路径——这不仅是数字的缩小,更是整个制造体系的重构。 金属间距 摩尔定律的真实标尺工艺节点的数字常常让人迷惑——所谓的“5nm”、“3nm”早已不是某个具体尺寸。真正的物理标尺,是后段互连中的金

未来光刻替代技术—NIL技术介绍

未来光刻替代技术—NIL技术介绍

本文主要讲述NIL技术。 目光投向EUV光刻之外的技术路线。纳米压印光刻(Nanoimprint Lithography,简称NIL)作为一种有力的补充方案,近期因佳能推出相关设备而备受关注,业界看好其打破传统光刻机垄断的潜力。 原理与工艺差异        传统光刻技术(包括DUV和EUV)的本质是利用光源通过掩模版对光刻胶进行图案化,其分辨率由光源波长决定。工艺流程包括涂布光刻胶、掩模对位、曝

先进制程芯片的研发和生产,究竟难在哪里?

先纠正一个常见误解:3nm、5nm 不是尺子上真实的线宽,更像是工艺代际名称,代表晶体管密度、功耗、性能、设计规则和量产能力的一整套升级。公开资料看,台积电 3nm FinFET 工艺已在 2022 年进入高量产阶段,2nm N2 也已在 2025 年第四季度进入量产,并开始采用 nanosheet 晶体管结构。 所以问题的核心不是“能不能做出 3nm”,而是:能不能高良率、低成本、稳定地做出几千