盛美半导体170℃单片热SPM系统新增硫酸回收能力
盛美半导体推出增强版170℃单片热硫酸双氧水混合液系统，新增硫酸回收能力，硫酸回收率达70%，预计每年每台设备可节省约400吨硫酸。该系统已通过一家代工厂客户超过50个工艺层验证，可支持多种清洗应用。
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