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盛美半导体170℃单片热SPM系统新增硫酸回收能力

核心导读 盛美半导体推出增强版170℃单片热硫酸双氧水混合液系统,新增硫酸回收能力,硫酸回收率达70%,预计每年每台设备可节省约400吨硫酸。该系统已通过一家代工厂客户超过50个工艺层验证,可支持多种清洗应用。

盛美半导体公司是一家面向半导体和先进封装应用的晶圆加工解决方案供应商,宣布推出其170℃单片热硫酸双氧水混合液(SPM)系统的增强版本,新增硫酸回收能力。该系统已通过一家代工厂客户在超过50个工艺层上的验证,显示其可支持广泛的清洗应用。

盛美半导体的单片热SPM系统在15纳米及以上尺寸的颗粒数可控制在15颗或以下,显著优于主流市场解决方案。与传统系统在热SPM工艺过程中需要定期使用去离子水冲洗以去除酸雾造成的结晶沉积不同,盛美半导体专有的喷嘴设计可有效防止此类污染,从而无需定期对去离子水腔室进行清洁即可保持稳定清洗性能。该设计有助于提升逻辑和存储器应用的良率,同时降低设备维护需求。

新的硫酸回收能力可实现70%的硫酸回收率,同时保持满足客户规格要求的颗粒控制性能。该创新预计每年每台设备可节省约400吨硫酸,在满足半导体制造严格工艺要求的同时带来显著的环保和成本效益。

盛美半导体总裁兼首席执行官王晖博士表示:“随着半导体制造变得更加复杂,客户需要能够满足日益严苛工艺要求并提高制造效率的技术。我们单片热SPM平台的持续进步和客户验证,体现了盛美半导体对差异化创新的承诺,以及我们提供解决方案以满足半导体制造商不断演进需求的能力。”

SPM广泛应用于半导体制造中的光刻胶剥离、有机聚合物残留去除、金属杂质和颗粒去除,以及CMP后清洗。随着半导体制造工艺日益复杂,制造商必须在严苛的清洗和颗粒控制要求与控制化学品消耗及运行效率之间取得平衡。盛美半导体的单片热SPM系统通过单片加工以及差异化的工艺和腔室设计来满足这些需求。

新的硫酸回收能力进一步提升了盛美半导体单片热SPM平台的效率。该系统可在保持颗粒控制的同时,回收并再利用工艺过程中使用的大部分硫酸,使制造商在不影响工艺性能的情况下减少化学品消耗。在客户现场超过50个工艺层上的验证进一步体现了该平台支持广泛清洗应用的能力。

来源: 海外媒体

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