给晶体管上紧发条：外延应力如何提升芯片性能
本文主要讲述外延应力如何提升芯片性能。 在追求更高性能的征途中，工程师们发现了一个免费午餐——应变硅技术。通过在特定区域引入晶格应力，可以显著提升载流子的迁移率，从而在不缩小尺寸的情况下提高晶体管的驱动电流。其中，选择性外延生长是施加应力的核心手段。那么，应力是如何从外延层“传递”到有源区（AA），又是如何改变晶体管电性的呢？ 应力从何而来：外延层的“原子尺码不匹配” 应力的源头，在于两种材料原
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本文主要讲述外延应力如何提升芯片性能。 在追求更高性能的征途中，工程师们发现了一个免费午餐——应变硅技术。通过在特定区域引入晶格应力，可以显著提升载流子的迁移率，从而在不缩小尺寸的情况下提高晶体管的驱动电流。其中，选择性外延生长是施加应力的核心手段。那么，应力是如何从外延层“传递”到有源区（AA），又是如何改变晶体管电性的呢？ 应力从何而来：外延层的“原子尺码不匹配” 应力的源头，在于两种材料原