什么是单晶硅的扭晶现象
本文主要介绍了什么是单晶硅的扭晶现象。 什么是晶体扭曲？ 等径生长阶段硅单晶以均匀直径生长，其生长时间占晶体生长全周期的 80% 以上，该阶段所生长的晶体直径近似相等、成分均匀、结构完整、缺陷较少，是晶体生长的主要阶段。 等径精度越高，晶体的质量越好。 然而，在拉晶实验中观察到，当提拉速度较快，等径生长的晶体没有按照圆柱形轴对称的晶格结构生长，出现扭曲生长或者螺旋生长的现象，这种现象称为晶体的“
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