玻璃基板在MEMS中扮演哪些角色
本文介绍了玻璃基板在MEMS的四种角色。 最近Corning、Intel、三星在先进封装玻璃基板和TGV上砸的弹药不少，行业文章一半以上在谈"玻璃替代有机载板做 2.5D/3D"。但往前翻一层，MEMS 才是玻璃基板老用户——硅-玻璃阳极键合这条工艺线跑了三十多年，是惯性传感器和压力传感器产线的标配。下面把玻璃基板在MEMS里的几个角色拆开看。 第一个角色：阳极键合做真空/惰性密封腔。硅和硼硅酸玻
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# MEMS
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什么是mems？
本文介绍了什么是微机电系统（MEMS）。 MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems），中文全称是微机电系统。 简单来说，它就是把传统的物理机械系统（比如齿轮、弹簧、杠杆、薄膜）和电子电路“微缩”到了微米甚至纳米级别，然后将它们完美地集成在同一块晶圆上。 如果说传统的 IC（逻辑芯片、存储芯片）是电子设备的“大脑”，只负责在虚拟的电信号世界里运算和记忆；那么 ME