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# MEMS

关于「MEMS」的技术文章、设计资料与工程师讨论,持续更新。

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热扩散是被淘汰的古老工艺吗?

热扩散是被淘汰的古老工艺吗?

本文介绍了热扩散工艺。 提到芯片制造,大家往往第一时间想到光刻机,而在掺杂环节,现代逻辑芯片早已普及了更为精准的离子注入技术。相比之下,热扩散这个听起来颇具年代感的词,似乎早已被扫进了历史的垃圾堆。但如果把视线从追求极致纳米工艺的CPU转移到微观机械世界MEMS(微机电系统),你会发现这项古老的工艺非但没有消失,反而是制造压力传感器、加速度计乃至高端硅电容器的幕后功臣。 热扩散的原理其实非常朴素,

晶圆变“晶方”?AI封装火了,MEMS也能用吗?

晶圆变“晶方”?AI封装火了,MEMS也能用吗?

本文介绍了方形晶圆的适用场景和优势短板。 近期半导体行业方形硅片批量交付的消息刷屏,不少人疑惑,几十年通用的圆形晶圆为何突然出现方形款,它会不会全面替代圆片,在MEMS 领域又有落地空间? 晶圆和“晶方” 传统晶圆天生是圆形,硅棒经旋转提拉长成圆柱,切片自然呈圆形,全球整条光刻、清洗、机械手产线也都是围绕圆片设计,一直是芯片前道制造的主流。但随着AI大尺寸GPU、HBM、Chiplet普及,封装

玻璃基板在MEMS中扮演哪些角色

玻璃基板在MEMS中扮演哪些角色

本文介绍了玻璃基板在MEMS的四种角色。 最近Corning、Intel、三星在先进封装玻璃基板和TGV上砸的弹药不少,行业文章一半以上在谈"玻璃替代有机载板做 2.5D/3D"。但往前翻一层,MEMS 才是玻璃基板老用户——硅-玻璃阳极键合这条工艺线跑了三十多年,是惯性传感器和压力传感器产线的标配。下面把玻璃基板在MEMS里的几个角色拆开看。 第一个角色:阳极键合做真空/惰性密封腔。硅和硼硅酸玻

晶圆变“晶方”?AI封装火了,MEMS也能用吗?

晶圆变“晶方”?AI封装火了,MEMS也能用吗?

本文将介绍半导体行业方形硅片。 近期半导体行业方形硅片批量交付的消息刷屏,不少人疑惑,几十年通用的圆形晶圆为何突然出现方形款,它会不会全面替代圆片,在MEMS 领域又有落地空间? 晶圆和“晶方” 传统晶圆天生是圆形,硅棒经旋转提拉长成圆柱,切片自然呈圆形,全球整条光刻、清洗、机械手产线也都是围绕圆片设计,一直是芯片前道制造的主流。但随着AI大尺寸GPU、HBM、Chiplet普及,封装单元、中介

什么是mems?

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本文介绍了什么是微机电系统(MEMS)。 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems),中文全称是微机电系统。 简单来说,它就是把传统的物理机械系统(比如齿轮、弹簧、杠杆、薄膜)和电子电路“微缩”到了微米甚至纳米级别,然后将它们完美地集成在同一块晶圆上。 如果说传统的 IC(逻辑芯片、存储芯片)是电子设备的“大脑”,只负责在虚拟的电信号世界里运算和记忆;那么 ME

MEMS科普小课堂|小小MEMS大能量,解锁智能世界核心密码

你能想象一个没有MEMS传感器的世界吗?这个问题的答案,藏在我们日常的每一个瞬间里——从抬手看智能手表的运动数据,到开车时安全气囊的及时触发,再到工厂设备的稳定运行,这些场景的背后,都有MEMS传感器的身影。 点击观看视频,了解MEMS传感器的奥秘,感受微小器件蕴藏的大能量。 那么,究竟什么是MEMS传感器?为什么它对我们的日常生活如此不可或缺? 让我们从最基础的概念聊起。我们体验到的一切,都可以

ST亮相2026深圳传感器盛会 | 共探智能传感前沿,共创数智未来

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近年来,中国传感器产业迈入了高速发展阶段,后劲持续蓄积,直奔万亿时代。与此同时,传感器产业正处在全新市场环境中,面临着前所未有的机遇和挑战。 深圳国际传感器与应用技术展览会(中文简称:深圳传感器展,英文简称:Sensor Shenzhen)每年春天于深圳会展中心举办,展会同期开设数十场专业研讨会,现已成为行业标杆性平台。始终以搭建产业前瞻性、权威性、引领性交流平台为核心,倾力推动传感器产业创新发展