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# 键合焊盘

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聚合物基板的材料性能对引线键合的影响

聚合物基板的材料性能对引线键合的影响

本文介绍了IC芯片中聚合物基板的键合效果优化。 研究发现,在IC芯片上的有源区内进行热超声键合的最佳聚酰亚胺具有最高的弹性模量E,弹性模量即应力除以应变且需低于弹性极限。这一材料性能与聚合物的刚性相关,因此键合过程中材料形成的凹杯或压痕也与弹性模量有关。对于各向异性材料,压缩模量能更好地反映柔软性,但拉伸模量通常是唯一可测量的模量特性。键合过程中,无支撑的焊盘和聚合物的总形变见图1,这种形变会吸收