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# EUV

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怎么解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题

怎么解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题

本文介绍了怎么解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题。 一、解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题有什么更优的方案 1. 金属氧化物光刻胶(尤其锡基),这是当前最重要的突破方向 传统的化学放大胶在 EUV 下 RLS 矛盾很尖锐,而金属氧化物光刻胶(Metal Oxide Resist,MOR,代表是含锡的胶)能在三个维度上同时改善,这是它被寄予厚望的原因。 2. 提高光子吸收效率 不管什么胶,提高对 EUV

全球半导体设备十强出炉:ASML第一,中国企业第七

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4月20日消息,CINNO • IC Research最新发布的全球半导体设备行业研究报告显示,2025年全球半导体设备商半导体营收业务Top10营收合计超1300亿美元,同比增长约16%。2025年Top10设备商名单与2024年完全相同,前五排名亦无变化。 注:  (1)本排名汇率2025年1欧元=1.14美元,1日元=0.0067美元,  (2)本次营收排名以上市公司半导体业务营收金额为依