SRAM 微缩——从 FinFET 瓶颈到 CFET 垂直堆叠
本文介绍了SRAM 微缩。 过去,SRAM bitcell 的密度提升主要依赖于光刻技术的迭代,即通过持续缩小 contacted poly pitch(CPP)与 metal pitch(MP)来压缩单元面积。 然而,随着工艺节点推进至纳米尺度,短沟道效应、工艺波动及寄生参数等非理想因素显著加剧,单纯依靠几何微缩的成本与复杂度陡增。 在摩尔定律逼近物理极限并遭遇能效墙(power wall)的双
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本文介绍了SRAM 微缩。 过去,SRAM bitcell 的密度提升主要依赖于光刻技术的迭代,即通过持续缩小 contacted poly pitch(CPP)与 metal pitch(MP)来压缩单元面积。 然而,随着工艺节点推进至纳米尺度,短沟道效应、工艺波动及寄生参数等非理想因素显著加剧,单纯依靠几何微缩的成本与复杂度陡增。 在摩尔定律逼近物理极限并遭遇能效墙(power wall)的双