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三星成功产出首颗10纳米以下DRAM工作芯片

三星成功产出首颗10纳米以下DRAM工作芯片

据韩媒thelec最新报道,三星已成功生产出基于10纳米以下工艺的DRAM工作芯片(working die),这标志着其在克服存储器制造工艺的物理微缩极限方面,迈出了商业化应用的关键一步。 在DRAM行业的技术命名体系中,10纳米级制程节点已从1x、1y、1z演进至1d。而此次三星实现突破的“10a”节点,是首个实际线宽低于10纳米的工艺,其电路线宽估计在9.5至9.7纳米之间。 “工作芯片”是指