一只MOS晶体管是如何制造出来的?
本文将介绍制造MOS晶体管的工艺流程。 理解MOS工艺,关键并不在于记住多少层氧化膜、多少块掩膜版,而在于弄清楚每一道工序如何影响晶体管的导通、关断和可靠性。 MOSFET如何控制电流 以n沟增强型MOSFET为例,器件通常形成在p型硅衬底上,两侧为重掺杂n型源区和漏区,中间由栅介质与栅极覆盖。 当栅源电压为零时,n⁺源区与漏区之间仍被p型衬底隔开,尚未建立连续的n型导电路径,因此器件基本处于关
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本文将介绍制造MOS晶体管的工艺流程。 理解MOS工艺,关键并不在于记住多少层氧化膜、多少块掩膜版,而在于弄清楚每一道工序如何影响晶体管的导通、关断和可靠性。 MOSFET如何控制电流 以n沟增强型MOSFET为例,器件通常形成在p型硅衬底上,两侧为重掺杂n型源区和漏区,中间由栅介质与栅极覆盖。 当栅源电压为零时,n⁺源区与漏区之间仍被p型衬底隔开,尚未建立连续的n型导电路径,因此器件基本处于关
本文介绍了影响晶体管饱和电流的各项因素。 在芯片性能的比拼中,有一个参数几乎成了晶体管速度的代名词——饱和电流(IdSAT)。它衡量的是晶体管完全导通时,从漏极流向源极的最大电流。IdSAT越大,逻辑门的翻转就越快,芯片的主频就越高。那么,这个决定芯片“马力”的关键参数,究竟被哪些制造工艺所左右?我们从最基本的物理公式出发,一层层拆解。 一、IdSAT的“第一性原理”公式对于先进工艺中的短沟道晶