光刻中的rework:什么情况下需要返工,能返几次?
光刻返工是芯片制造中补救涂胶、显影等异常的关键流程,通过去胶、清洗、重新涂胶三步实现。但返工并非无损,每操作一次都会损伤晶圆,先进工艺通常限2次以内,以平衡良率、成本与质量。 在芯片制造的光刻工艺中,谁也无法保证每一次涂胶、曝光、显影都完美无缺。当出现异常时,工程师并不会直接报废整片晶圆——只要条件允许,他们会启动光刻返工流程,把晶圆“洗干净”重新来过。这就像写错字的草稿纸,用橡皮擦掉重写。但这颗
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光刻返工是芯片制造中补救涂胶、显影等异常的关键流程,通过去胶、清洗、重新涂胶三步实现。但返工并非无损,每操作一次都会损伤晶圆,先进工艺通常限2次以内,以平衡良率、成本与质量。 在芯片制造的光刻工艺中,谁也无法保证每一次涂胶、曝光、显影都完美无缺。当出现异常时,工程师并不会直接报废整片晶圆——只要条件允许,他们会启动光刻返工流程,把晶圆“洗干净”重新来过。这就像写错字的草稿纸,用橡皮擦掉重写。但这颗
扬杰科技(300373.SZ)公布,公司近日关注到,欧盟理事会于当地时间2026年4月23日通过第20轮对俄罗斯制裁方案。根据欧盟官方公布的文件,公司被列入欧盟制裁名单。 公司主要从事功率半导体硅片、芯片及器件设计、制造、封装测试等中高端领域的产业发展。公司主营产品均为民用级功率半导体器件,包括材料板块(单晶硅棒、硅片、外延片)、晶圆板块(5 吋、6 吋、8 吋硅基及6 吋碳化硅等各类电力电子
上游成本压力持续传导,芯片产业链再传涨价信号。 4月21日,力源信息旗下武汉芯源半导体有限公司正式发布调价通知函,宣布自2026年5月6日起,旗下全系列产品将实施新的价格体系,所有产品价格需重新协定。 芯源半导体在通知函中表示,近期半导体产业链晶圆、封测等核心上游原材料持续上涨,且行业产能供应紧张,原价格已无法支撑后续产能保障和产品交付。此次价格调整,是应对产业链成本上涨压力的必要举措。 根据通知