中国不用EUV也能造先进芯片,但成本持续上升

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中国可以在没有极紫外光刻(EUV)的情况下制造先进芯片,但成本会持续上升。采用深紫外光刻(DUV)多重曝光意味着更大的芯片面积、更低的良率和更长的制造时间。

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