可编程主动晶圆卡盘可校正最大300mm基板上的弯曲、翘曲和局部表面偏差。
随着半导体工艺对晶圆平整度和定位提出日益严格的要求,PI(Physik Instrumente)推出了一种主动晶圆整形技术,利用压电驱动精确操控晶圆几何形状。
该主动晶圆卡盘在2026年SEMICON West上推出,能够对基板进行受控变形,以补偿可能影响精密搬运、检测、量测、键合和先进封装的晶圆弯曲、翘曲和局部表面偏差。该平台支持最大300mm基板。
该系统不依赖固定校正轮廓,而是支持前10种泽尼克模式以及可自由选择的变形图案。因此,设备设计人员能够根据特定工艺或应用的几何形状与要求,定制晶圆表面校正。
通过将精密压电驱动扩展至晶圆级表面控制,PI为半导体设备开发者提供了应对基板平整度和定位挑战的又一手段,同时可将主动校正直接集成到先进设备架构中。
PI已将压电技术应用于半导体定位和量测系统,包括动态跟踪、角度校正和高精度晶圆定位。主动晶圆卡盘将这一精密运动方法扩展至受控晶圆变形。
应用与服务行业
半导体制造、晶圆翘曲校正、主动表面整形、先进封装、晶圆检测与量测、晶圆搬运与加工、精密量测。
来源: 海外媒体
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