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诺信MARCH ExoSPHERE等离子处理系统获2026全球技术奖

核心导读 诺信电子解决方案的MARCH ExoSPHERE等离子处理系统获得2026全球技术奖等离子系统类别奖。该系统面向面板级封装,通过等离子清洁和表面能提升改善附着性、可靠性与良率。

诺信电子解决方案凭借新型 MARCH ExoSPHERE 等离子处理系统,获得 2026 年全球技术奖等离子系统类别奖。

面向面板级封装的创新等离子处理平台

MARCH ExoSPHERE 系统通过等离子处理清洁并增强表面,以提高附着性、可靠性和良率。该系统面向面板级封装(PLP),这是一项满足下一代人工智能和高性能计算半导体制造需求的新兴技术。ExoSPHERE 系统可实现无空隙底部填充,并提高毛细流动速度,同时通过减少返工和报废提升良率。其业界领先的等离子均匀性和工艺重复性可有效去除污染物,并增强表面能,从而改善抗蚀剂润湿性、提升芯片贴装和引线键合完整性,使封装性能更加稳健。

MARCH ExoSPHERE 等离子系统的主要特点

专利三轴对称腔体可在最大 650x650 毫米面板上实现一致、均匀的等离子处理。集成上下料装置可兼容面板、晶圆和载具,并适应翘曲。软件控制换型可缩短不同面板或晶圆尺寸之间的切换时间。ExoSPHERE 的 SMART Tune 管理系统提供闭环等离子控制,优化射频系统并缩短调谐时间。系统可自动恢复至等离子就绪状态,以适应真空压力、温度和批次规模变化。该系统借助专有算法持续测量等离子腔体内的正向和反射功率,数秒内即可达到最大功率。紧凑的腔体容积与工艺控制相结合,可缩短周期时间并降低用电需求。

面向多种先进封装的等离子处理

Johnson He 表示,该奖项反映出行业在面板级封装中对等离子处理解决方案的需求,这些方案需支持日益复杂的先进封装应用。ExoSPHERE 的设计目标是帮助客户提升工艺一致性、封装可靠性和整体制造效率。

该奖项根据七项标准对 MARCH ExoSPHERE 等离子系统进行评审,包括创新性、产能提升、质量贡献、成本收益、环保因素、易用性和可维护性。

全球技术奖自 2005 年以来持续表彰印刷电路组装与封装行业的最优秀新创新成果。颁奖典礼于 2026 年 10 月 27 日在美国伊利诺伊州罗斯蒙特展览中心举行的 SMTA International 大会上举行。

来源: 海外媒体

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