据海外媒体11月9日证实,三星电子的半导体蚀刻工艺配方被泄露给美国半导体设备厂商泛林集团的韩国业务。
泛林集团向三星电子半导体生产线供应蚀刻和沉积设备。设备运行过程中生成的数据存储在制造工厂安装的监控服务器等系统中。
泛林集团获准在协议范围内从三星电子获取部分数据,用于设备性能改进和维护。其韩国子公司泛林韩国一直通过向三星电子提交申请来获取此类数据。
在此过程中,三星电子未授权转移的工艺配方信息被发现以单独文件形式提供给了泛林韩国。三星电子在今年下半年获悉此事。据调查,在泛林韩国提出不当请求后,未授权数据传输曾多次发生。
工艺配方包含设备温度、压力、气体流量和处理时间等制造条件信息,被视为包含半导体厂商专有工艺诀窍的关键技术数据。
一位知情人士称:“三星电子似乎已将此事视为总部层面的严重技术泄露事件。”
一些观察人士认为,该事件可能促使泛林韩国近期更换首席执行官。该公司11月6日宣布任命Kim Tae-won为新任首席执行官。前任首席执行官Park Jun-hong于2024年1月就任,领导该韩国子公司约两年九个月,现已卸任。
三星电子和泛林韩国未对相关询问作出回应。
来源: 海外媒体
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