本文主要介绍单晶硅湿法刻蚀用什么做掩膜。
在单晶硅的湿法刻蚀中,选择何种材料作为掩膜(Mask),严格取决于所使用的刻蚀液的化学成分以及刻蚀的深度与时间。
产线中最常用的掩膜材料分为硬掩膜(Hard
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物穷其理 宏微交替
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