本文介绍了什么是热臭氧工艺。
什么是热臭氧工艺？
热臭氧工艺是一种湿法清洗技术，用 45~55°C 的含臭氧清洗液，去除光刻胶和刻蚀后的有机残留。
它的原理很直接：光刻胶和刻蚀残留主要是有机物（碳氢化合物），而臭氧（O₃）是强氧化剂，能把有机物氧化分解成二氧化碳、水等挥发物，从而去除。本质上是一种在液相、低温下进行的化学氧化去胶。
"热"是关键。它在 45~55°C 的适度加热下进行，比室温的普通臭氧水工艺去胶速率高很多，但又远低于会损伤材料的高温。适度加热大幅提升了臭氧的去胶效率，这正是它区别于普通臭氧水工艺的地方。
它要替代两样传统的东西：一是后段（BEOL）去胶用的有机溶剂，那些溶剂有毒、贵、有环保问题；二是前段（FEOL）去胶用的硫酸加双氧水（SPM/Piranha），强腐蚀、耗酸量大、成本高、废液处理麻烦。
Hot Ozone Process优势？
第一，低温加中性 pH，降低腐蚀风险。这是热臭氧相对传统清洗的关键优势。它不像 SPM 那样强酸，也不像某些清洗液那样强碱，低温加中性 pH 对材料的腐蚀性小，对铜、low-k、阻挡层这些娇贵材料更友好。
第二，去胶速率是普通臭氧水工艺的 2~4 倍。适度加热大幅提升了臭氧的去胶效率，解决了普通臭氧水工艺太慢、产能低的痛点。
第三，实测去胶速率上，i 线光刻胶约 17,000 Å/min（1.7 微米），DUV 光刻胶约 11,000 Å/min（1.1 微米）。i 线胶去除比 DUV 胶快，这是因为 DUV 用的化学放大胶结构不同、更耐氧化。
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