本文介绍了怎么解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题。
一、解决光刻胶 RLS 三角矛盾问题有什么更优的方案
1. 金属氧化物光刻胶（尤其锡基），这是当前最重要的突破方向
传统的化学放大胶在 EUV 下 R
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物穷其理 宏微交替
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本文介绍了芯片制造中的ECO设计是什么。 在芯片设计领域，ECO（Engineering Change Order，工程变更指令）是一项关键技术手段，指在芯片设计流程后期或流片完成后，针对已发现的设计 -
本文介绍了STI与CMP如何让晶体管互不打扰。 在芯片上，数百万个晶体管需要彼此隔离，否则会相互漏电、串扰，导致电路失效。早期工艺用“局部氧化”来做隔离，但随着器件越做越小，这种方法已经不够用了。于是 -
本文介绍了什么是热臭氧工艺。 什么是热臭氧工艺？ 热臭氧工艺是一种湿法清洗技术，用 45~55°C 的含臭氧清洗液，去除光刻胶和刻蚀后的有机残留。 它的原理很直接：光刻胶和刻蚀残留主要是有机物（碳氢 -
本文介绍了PIE到底是做什么的。 很多人第一次听到PIE，会想到英文里的“派”。但在半导体工厂中，PIE通常指 Process Integration Engineer，工艺整合工程师。 这个职业既不 -
本文介绍了通过引入低k介质、新型金属材料和采用双大马士革工艺降低电阻电容。 在芯片制造的前端，晶体管越做越小、越做越快；但在后段，负责连接这些晶体管的铜导线，却面临着一个尴尬的局面——线宽越缩越细， -
一、为什么玻璃基板突然被重视？ 过去很多高端封装依赖有机基板、硅中介层、ABF载板等材料体系。 但随着AI芯片越来越大、I/O数量越来越多、功耗越来越高、封装尺寸越来越大，传统基板材料逐渐遇到瓶颈 -
本文介绍了高可靠封装和检验。 高可靠封装 高可靠集成电路封装主要包括划片、粘片、键合和密封四个工序，如图所示。 划片是封装的第一步。它把整张晶圆分成多个独立芯片。常用方法有机械切割和激光划片。 粘 -
图像是人类获取信息最主要的形式，而图像的显示或呈现大多以屏幕作为载体。手机里的照片、电脑里的文档，都是通过一幅幅明暗交替变化的图像进入人的眼睛。液晶显示屏是当前最常见的屏幕类型之一。当你在电脑上打开 -
本文介绍了裸晶圆缺陷检测中暗场检测技术。 在半导体制造过程中，无图形晶圆通常指裸硅片或假片，主要用于设备测试以及机台内部环境洁净度的监控。当此类晶圆表面存在过多颗粒、残留物或划痕等缺陷时，需要及时排 -
本文介绍了氧化镓是什么。 氧化镓是镓（Ga）和氧（O）组成的化合物，化学式 Ga₂O₃。它本质上是一种氧化物半导体，但因为带隙特别宽（4.8~4.9 eV），被归类为超宽禁带半导体（UWBG，Ultr -
本文介绍了混合集成电路中的厚膜与薄膜工艺。 混合集成电路 混合技术是把两种或多种集成电路芯片放在一起，有时还会加入电阻、电容等分立元件，最后封装在同一个管壳中，这样做成的电路叫混合集成电路。 和单片集 -
外延层的基本概念 外延（Epitaxy）是指在经过切、磨、抛等加工的单晶衬底上生长一层新单晶的过程。这层新生单晶层按衬底晶相延伸生长，故称为外延层（Epitaxial Layer），厚度通常为几微米 -
本文介绍了GPU 相关常见术语。 CPU像总经理，GPU像几万个熟练工人；CUDA 像管理这些工人的操作手册，HBM 像高速仓库，NVLink 像工厂之间的专用高铁。AI 模型越大、Token 调用越
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双极集成电路工艺与主要器件制造 双极工艺中最基本的有源器件是npn和pnp晶体管，它们都由三层半导体材料组成，中间一层的导电类型与两边不同，这三层材料可以上下排列，也可以横向排列，所以会形成垂直晶体管 -
在高性能计算领域，AI芯片需要海量数据带宽，而HBM（高带宽内存）正是为此而生。HBM的核心技术之一，就是TSV（硅通孔）——一种垂直贯穿芯片的导电通道，让数据不再绕行，而是直接穿墙而过。 图片展 -
本文介绍了ATG（地空通信）是什么，怎么实现。 到底什么是ATG？ 我们先来回顾一下，到底什么是ATG。 ATG，就是Air To Ground，空对地通信，也叫地空通信。 ATG是一种非常特殊的通 -
电子特种气体是纯度达到99.999%（5N）以上的特种气体，是半导体、显示面板、光伏等高科技产业制造过程中的关键材料。在集成电路从裸硅片到成品芯片的晶圆制造全流程中，超过一半的工序要用到电子特种气体。 -
本文介绍了AI芯片的封装基板越做越大趋势。 从图片可以清楚看到，先进封装的基板尺寸正在快速膨胀。这背后是AI芯片对算力和带宽的无尽渴求。 图(a)是比较“传统”的配置：一颗逻辑芯片加上四颗HBM（高 -
EUV光是怎么发出来的？先把锡变成等离子体，用超高功率激光(CO₂ 激光)聚焦轰击锡靶,瞬间把锡加热到几十万度。这么高的温度下,锡原子的外层电子被剥离掉很多个,变成高电离态离子—失去 8~14 个电子