本文将介绍刻蚀选择比决定因素和刻蚀不稳定性排除思路。
选择比不稳时,第一反应不要只盯刻蚀速率,更不要直接把功率、时间、气体流量一起改。
很多刻蚀异常看起来都是“没刻干净”或“刻过了”,但真正要分开判断
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物穷其理 宏微交替
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本文将介绍先进封装如何支撑AI芯片的性能跃升。 传统的“大芯片"的局限 在AI芯片的设计中,算力和带宽的竞赛正在把封装技术推向极限。传统的“一颗大芯片搞定一切”的做法已经难以为继,取而代之的是把大芯片 -
组合优化问题广泛存在于金融、物流、机器学习等领域。传统“冯·诺伊曼”架构在处理规模日益庞大的问题时面临显著瓶颈。光电伊辛机利用物理系统的动力学演化进行本征并行求解,是实现大规模组合优化硬件加速的重要技 -
本文将介绍存储芯片领域的DRAM和NAND Flash路线。 在存储芯片领域,DRAM和NAND Flash走着两条截然不同的技术演进路线——DRAM在不断缩小线宽,NAND在不停增加层数。图片展示的 -
本文将介绍热界面材料的特性和分类。 随着工业芯片封装技术持续迭代升级,工业电子器件的综合性能大幅提升,但器件工作功耗与产热量也随之大幅增长,散热压力显著增大。在此背景下,热界面材料(Thermal I
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本文将介绍光刻机核心子系统及其功能。 光刻机是集成电路制造中最为关键的核心设备,其本质是一台超精密的投影式照相系统,任务是将掩模版上的微纳电路图形以极高保真度“印刷”到涂有光刻胶的硅片上。 衡量光刻技 -
本文将介绍制造MOS晶体管的工艺流程。 理解MOS工艺,关键并不在于记住多少层氧化膜、多少块掩膜版,而在于弄清楚每一道工序如何影响晶体管的导通、关断和可靠性。 MOSFET如何控制电流 以n沟增强型M -
本文将介绍半导体电子束量测与检测技术。 从光学到电子束 在半导体制造领域,对微观结构的观测能力直接决定了芯片制造的精度与良率。随着芯片特征尺寸不断缩小,传统光学观测手段逐渐逼近其物理极限。根据瑞利判据 -
CMOS 工艺是集成电路核心技术,核心是在同一块硅片上集成 NMOS 和 PMOS。本文梳理其核心流程,聚焦工艺复杂度、尺寸偏差、锁定效应、静电保护四大关键问题,解析行业应对策略。 CMOS工艺 CM -
薄膜残余应力是现代制造的核心关注点,其失控会引发器件失效,可控应力则能提升性能。本文以百年经典的晶圆曲率法为核心,解析其原理、技术迭代,结合实验揭示应力演化机制与工业应用价值。 小到手机芯片的金属互连 -
射频前端(RFFE)是手机通信的 “信号关口”,却常被忽视。本文拆解其核心组成与工作原理,解析 5G 时代其重要性提升的原因,对比滤波器技术路线,剖析国产替代难点与未来发展方向。 很多人评价一部手机时
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碳化钽(TaC)涂层凭借超高温稳定性与优异化学惰性,成为半导体高温工艺的关键防护材料。本文解析其 CVD 制备工艺,聚焦 SiC 长晶、GaN/SiC 外延等核心应用场景,梳理行业需求逻辑与国产替代 -
先进封装领域玻璃相关名词极易混淆:玻璃基板、玻璃载板、玻璃中介层、玻璃核心基板。四者属于包含、功能分层关系,并非等同替代关系。本文以城市交通类比清晰划分定义、功能定位与工艺侧重点,厘清行业常见混用误 -
先进封装 RDL 铜电镀厚度不均诱因复杂,包含光刻图形、种子层、电场、传质、药液多维度因素,不可盲目调整电流与电镀时长。文中给出标准化排查逻辑:先通过厚度 Map 判定不均类型,再按光刻开口→种子层 -
EBSD 作为晶粒取向表征核心技术,过往对图案形成物理机制研究不足。Alwyn Eades 团队通过能量过滤技术,系统探究不同能量背散射电子的衍射贡献,验证了该技术对图案衬度、空间分辨率的提升效果,填 -
集成电路制造是数百道精密工艺协同的复杂工程,核心是在硅晶圆上通过重复循环构建晶体管与互连网络。本文从晶圆制备、光刻、沉积刻蚀、掺杂改性到互连封装,拆解芯片制造全流程,解析各环节核心原理与技术难点。 -
钨塞是什么? 钨塞(Tungsten Plug,业内常简称为 W-plug)是半导体集成电路制造中,用于实现晶体管器件层与上方金属互连层之间垂直电气连接的圆柱形微观金属导体。 在芯片的物理架构中,它主 -
本文介绍了Standard cell/标准单元在芯片设计中的核心地位。 标准单元在芯片设计中的核心地位 随着摩尔定律的持续推进,芯片设计对功耗(Power)-性能(Performance)-面积(A -
本文介绍了本届世界杯使用的黑科技。 今年这届世界杯,已经进入尾声啦! 这届世界杯,是有史以来科技含量最高的一届世界杯。在球场内外,融入了大量的前沿数字科技,涵盖了5G、物联网、VR/AR、云计算、数字 -
本文介绍了钨塞(W-plug)的制造流程。 钨塞制造的标准流程是: 刻蚀接触孔/通孔 → 沉积阻挡/粘附层(Ti/TiN)→ 沉积钨成核层 → CVD 主体填钨 → CMP 平坦化 第一步:刻蚀接