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半导体技术
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哪些半导体设备用到了超(兆)声波?

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本文介绍了半导体设备关于超(兆)声波的使用。 一、先区分超声波与兆声波 两者频率不同,应用场景也不同: | 类型 | 频率范围 | 主要应用方向 | | 超声波(Ultrasonic) | 20 kHz – 1 MHz | 键合、清洗(较强机械作用) | | 兆声波(Megasonic) | 0.8 – 2 MHz(甚至更高) | 精密清洗(温和,无损伤) | 频率越高,空化泡越小,对器件损伤

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